离子束清洗的词语属性 拼音l z sh qng x拼音字母li zi shu qing xi拼音首字母lzsqx 离子束清洗的百科含义 离子束清洗（ion beam cleaning）把离子束抛光的原理应用于清洗晶片表面，称为离子束清洗。与其他清洗方法相比，离子束清洗具有无沾污、表面结构完整、无微坑等优点。
聚焦离子束的词语属性 拼音j jio l z sh拼音字母ju jiao li zi shu拼音首字母jjlzs 聚焦离子束的百科含义 FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将离子源(大多数FIB都用Ga，也有设备具有He和Ne离子源)产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后作用于样品表面。作用：1.产生二次电子
离子束探针的词语属性 拼音l z sh tn zhn拼音字母li zi shu tan zhen拼音首字母lzstz 离子束探针的百科含义 离子束探针，以聚焦很细(1～2微米)的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分
