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磁控溅射
磁控溅射法
磁控溅射法的词语属性 拼音c kng jin sh f拼音字母ci kong jian she fa拼音首字母ckjsf 磁控溅射法的百科含义 磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。
磁控溅射
磁控溅射的词语属性 拼音c kng jin sh拼音字母ci kong jian she拼音首字母ckjs 磁控溅射的百科含义 磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力